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產(chǎn)品分類
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供應AALBORG氣體流量計
產(chǎn)品特點：性價比高、響應速度快、可靠性高，易于集成、環(huán)路保護、備總量計數(shù)器
典型應用：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
設(shè)計特點：
?。瓌傂越饘俳Y(jié)構(gòu)
?。鞒谭秶鷱?開始到10sccm直到0到1000slpm
－*大壓力500psig（34.5Bar）
?。孤┞?＊10-7氦氣
－NIST系統(tǒng)標定可追蹤的證明
?。蓛A斜的LCD讀表
?。?-5Vdc或4-20mA信號輸出
－電路保護
?。捎米鞅銛y式的設(shè)備
－0到**比例顯示
?。膳鋫淞髁坑嬎銠C
精度：±1.5％滿量程，包括59℉到77℉的氣體溫度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的壓力。可選±1％滿量程（標定精度），在給定的溫度與壓力值條件下。
重復性：±0.5％滿量程
回應時間：實際流速±2％超過滿量程25-**一般2秒
溫度系數(shù)：0.15％滿量程／℃
壓力系數(shù)：0.01％滿量程／psi（0.07bar）
氣體／周圍溫度：32℉-122℉（5℃-50℃）
輸出信號：0-5Vdc，**1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻
傳感器輸出：＋12Vdc；*大200Ω。＋24Vdc可選
時間恒量：800ms
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